Область применения

Полупроводниковая промышленность

Типовые точки применения: вакуумные тракты, загрузочные камеры и технологические модули.

Факторы выбора

Критичны чистота, низкий газовый фон, воспроизводимость и интеграция сигналов. До выбора модели необходимо задать фактический диапазон, газовую среду и место измерения.

Измерительная цепь

Датчик, присоединение, кабель, контроллер и система автоматизации проверяются как единый канал. Предельное значение диапазона не означает одинаковую точность во всём диапазоне.

Типовые ошибки

• выбор только по минимальному давлению;
• игнорирование газовой зависимости;
• установка в зоне локального потока или осаждения;
• несогласованные уровни аналогового сигнала и протокол обмена.

Перейти к инженерному подбору